Waferprober

Aufgabe

Konzeption und Neuentwicklung der Steuersoftware für einen alten Waferprober (Karl Suss). Implementierung von kundenspezifischen Mess- und Steuermöglichkeiten.

Anforderungen

  • Bestandsaufnahme der bestehenden Messtechnik, Mechanik und Elektronik
  • Evaluierung und Verifizierung des Kommunikationsprotokolls zwischen dem PC und den einzelnen Achsencontrollern
  • Bedienbarkeit der Software durch angelerntes Personal; keine Spezialkenntnisse notwendig
  • Oberfläche, Dialoge und Dokumentation komplett in englischer Sprache
  • Definition von Messpositionen auf Chip- und Waferebene
  • Zusammenfassen mehrerer Chips zu einem Wafer
  • Automatisches oder halbautomatisches Abfahren der zuvor eingelernten Positionen
  • Handbetrieb zum manuellen Messen von Positionen
  • Tools zum orthogonalen Platzieren der Chips/Wafer auf dem Waferprober
LabWindows/CVI-Applikation

Lösung

Softwareentwicklung und Programmierung in LabWindows/CVI (National Instruments). Messdatenerfassung über Mikroohmmeter 580 und Switch System 7001 (Keithley Instruments), angesteuert über GPIB. Ansteuerung der Motorcontroller über RS485.