Konzeption und Neuentwicklung der Steuersoftware für einen
alten Waferprober. Implementierung zusätzlicher kundenspezifischer Mess- und Steuermöglichkeiten.
Anforderungen
Bestandsaufnahme der bestehenden Messtechnik, Mechanik und Elektronik
Evaluierung und Verifizierung des Kommunikationsprotokolls zwischen dem PC und den einzelnen Achsencontrollern
Bedienbarkeit der Software durch angelerntes Personal; keine Spezialkenntnisse notwendig
Oberfläche, Dialoge und Dokumentation komplett in englischer Sprache
Definition von Messpositionen auf Chip- und Waferebene
Zusammenfassen mehrerer Chips zu einem Wafer
Automatisches oder halbautomatisches Abfahren der zuvor eingelernten Positionen
Handbetrieb zum manuellen Messen von Positionen
Tools zum orthogonalen Platzieren der Chips/Wafer auf dem Waferprober
Lösung
Erstellung der Software in LabWindows/CVI (National Instruments).
Messdatenerfassung über Mikroohmmeter 580 und Switch System 7001 (Keithley Instruments),
angesteuert über GPIB. Ansteuerung der Motorcontroller über RS485.
